堀場エステックが新しいキャパシタンスマノメーター「VG-500S」を発売開始

京都市南区に本社を構える堀場エステックは、半導体業界の進化を支えるために新しいキャパシタンスマノメーター「VG-500S」を、12月17日に発売することを発表しました。この新製品は、最近の半導体デバイスの小型化や三次元構造化の進展にためになんらかの高い精度と安定した圧力測定を実現しています。

製品発表の背景

近年、半導体製造のプロセスは複雑化し、多種類の材料ガスを使用せざるを得なくなっています。特に成膜やエッチング工程では、真空状態の維持が重要であり、材料ガスの反応を精密に制御して不純物を除去するため、チャンバー内の環境管理が求められます。そこで、空気やガスの状態を的確に把握するための真空計の必要性が高まっているのです。このような市場のニーズを踏まえて、新たに「VG-500S」を開発しました。

VG-500Sの特長

1. 高温プロセスに対応した応答性能
「VG-500S」では、センサー部の温度を100℃から200℃の範囲で調整可能で、ユーザーの要求に応じた設定が行えます。この設計により、センサー部での結露や熱分解を回避し、安定した圧力測定が実現します。また、独自のアルゴリズムによって応答時間を従来比で約4倍に短縮し、迅速なデータ反映が可能です。

2. グローバルな販売体制の強化
堀場エステックは、2015年にキャパシタンスマノメーター「VG-200」をリリースし、以来VGシリーズは評価を集めてきました。新たに追加された「VG-500S」で、ラインアップを拡充し、国際市場でも販売体制を強化する方針です。

製品の利用と将来展望

今後は「VG-500S」を通じて、半導体製造現場の更なる効率化と高品質化に寄与することを目指しています。堀場エステックは、技術力の向上を続けることで、様々なニーズに応えるソリューションを提供し続けることを宣言しています。

出展情報

「産業技術力を支える製品」として注目される「VG-500S」は、2025年12月17日から19日まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」にも出展される予定です。業界関係者はぜひ足を運び、新技術に触れてみてください。堀場エステックの最新技術が、半導体製造の未来を切り開くことを期待しています。