光ファイバー式薬液濃度モニター「CS-900F」の登場で半導体業界が進化

非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」の革新

2026年3月26日、株式会社堀場アドバンスドテクノが新たに光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を発売することが発表されました。この新機種は、半導体製造プロセスにおける薬液管理を一層進化させるものとして期待されています。

「CS」シリーズの系譜と特徴

1995年に登場した「CS」シリーズは、洗浄やエッチングで使用される薬液の濃度を測定するために設計されており、長年にわたり進化を続けてきました。「CS-900F」はその後継機種となり、配管設置型の非接触測定技術を採用したことで、薬液漏れや外部汚染のリスクを減少させることが実現しました。

この製品は光ファイバーケーブルを利用し、分光器をメインユニットに移設することで、装置内のセルユニットの体積を約60％も削減することが可能になりました。これにより、装置の占有スペースが少なくて済み、お客様の装置に対する負担も軽減されています。また、内部リファレンス機構を搭載しているため、外乱の影響を受けにくく、安定した測定を実現しています。

開発の背景と市場ニーズ

半導体業界では、薬液の処理過程における均質性が歩留まりに大きく影響するため、厳密な管理が欠かせません。堀場アドバンスドテクノは、2019年に非接触型薬液濃度モニター「CS-900」を発売し、顧客のニーズに応える形でまとめていきました。この「CS-900F」はその後継機として、顧客からの声を反映し、よりコンパクトで使いやすいデザインが特徴です。

小型化と高精度測定

新型「CS-900F」は、セルユニットを顧客の装置の配管に簡単に取り付けることができ、測定も非接触で行える手軽さが魅力です。メインユニットとセルユニットは光ファイバーケーブルで接続されており、この構造によって従来品よりも大幅に体積を小さくしています。

加えて、セルユニットには高い安定性を持つ内部リファレンスが組み込まれており、振動による誤差を抑えることで、精度の高い測定を提供します。これにより、ユーザーはより安心して薬液の濃度を測定できる環境が整いました。

拡充された薬液の測定範囲

「CS-900F」では測定できる薬液の種類も多様化しています。従来の製品に加え、最高80℃までの高温薬液を含む幅広い薬液の測定が可能になり、特に複雑な薬液成分を含むプロセスでも高い安全性を保持しています。

波長帯域を従来の約3倍に拡張したことで、標準的なSC-1などの薬液から、危険度の高い硝酸やリン酸、酢酸の混合液に至るまで、前処理なしで測定ができるため、実作業の効率が大幅に向上します。